微风(空气:不足0.05MPa)
防止灰尘扩散和清洁度的下降！
即使是以往机型所无法对应的不足0.05MPa的区域,也可进行除电。由于几乎不存在空气引起的灰尘扩散,因此最适用于对清洁度要求较高的半导体和FPD(移动面板)等用途的除电。
由于存在空气,使得灰尘难以附着在放电针上,因此与使用无风时相比,可减少清洁次数。
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